SOLUTION
半导体精密部件方案
半导体 · 高端制造
半导体精密部件方案
方案构成：浮动定位与定心方案，配套半导体真空法兰、高温陶瓷等精密部件，支撑高端制造场景。
场景痛点：晶圆定心、键合与精密检测环节对浮动定位精度与洁净环境要求苛刻。
晶圆定心
真空法兰
高温陶瓷
规格参数
| 方案构成 | 浮动定位与定心方案，配套半导体真空法兰、高温陶瓷等精密部件，支撑高端制造场景。 |
| 场景痛点 | 晶圆定心、键合与精密检测环节对浮动定位精度与洁净环境要求苛刻。 |